keysight 10774A 短距離直線度光器件

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描述

"Keysight 10774A 短距離直線度光器件結(jié)合了直線度干涉儀和反射鏡，可在高達(dá) 3 米（10 英尺）的行程距離內(nèi)進(jìn)行測(cè)量。 該光器件構(gòu)成了一個(gè)高度的光學(xué)直角尺，可以測(cè)量機(jī)床行程和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)運(yùn)動(dòng)的直線度，分辨率為 0.04 微米（1 uin）。

Keysight 10774A（與　Keysight 5530 校準(zhǔn)系統(tǒng)配合使用）是一個(gè)大型元器件，可對(duì)干涉儀系統(tǒng)進(jìn)行量身定制以滿足每個(gè)應(yīng)用的物理版圖和測(cè)量要求。

直線度測(cè)量精度

總體精度 = 光參考精度 + 測(cè)量精度。

與使用直角尺和指示器進(jìn)行直線度測(cè)量的傳統(tǒng)方法類似，光參考精度相當(dāng)于直角尺精度，而測(cè)量精度相當(dāng)于指示器精度。

光參考精度

直角尺（反射鏡）反轉(zhuǎn)技術(shù)可消除光參考不確定度。

公制單位模式： 0.15 M2 µm

英制單位模式： 0.5 F2 µin

測(cè)量精度

溫度范圍顯示值： 0 µm 至 10 µm，10 至 1,500 µm

0 µm 至 400 µm，400 至 60,000 µm

15°C 至 25°C，±3.5%±1%±0.25 µm（10 µin）

0°C 至 40°C，±6%±1%±0.5 µm（20 µin）

直線度測(cè)量分辨率

Keysight 5519A、Keysight 5519B

短距離： 0.01 µm（0.4 µin）、0.04 µm（1.4 µin）

直線度測(cè)量范圍（正交至軸向移動(dòng)）

±1.5 mm（0.060 英寸）

軸向分離（移動(dòng)）

（干涉儀和反射鏡之間的距離，典型值，經(jīng)過恰當(dāng)?shù)膶?duì)準(zhǔn)，15°C 至 25°C）：

短距離光器件： 0.1 m 至 3 m（4 英寸至 120 英寸）

高分辨率平面反射鏡

與對(duì)準(zhǔn)激光器相比，對(duì)空氣擾動(dòng)的反應(yīng)更加、靈敏度更低

單獨(dú)提供或作為 Keysight 55283A 直線度測(cè)量套件的一部分